DIN 50450-5-1994 半导体工艺材料的检验.载气和掺杂剂气体中杂质的测定.用五氧化二磷晶粒测定气相氯化氢中的微量水
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时间:2024-05-13 23:33:21
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【英文标准名称】:Testingofmaterialsforsemiconductortechnology;determinationofimpuritiesincarriergasesanddopantgases;determinationofwatertracesingaseoushydrogenchloridebyadiphosphoruspentoxidecell
【原文标准名称】:半导体工艺材料的检验.载气和掺杂剂气体中杂质的测定.用五氧化二磷晶粒测定气相氯化氢中的微量水
【标准号】:DIN50450-5-1994
【标准状态】:作废
【国别】:德国
【发布日期】:1994-01
【实施或试行日期】:
【发布单位】:德国标准化学会(DIN)
【起草单位】:
【标准类型】:()
【标准水平】:()
【中文主题词】:化学分析和试验;试验设备;分析;氯化氢;半导体工程;水污染;试验;测量电池;药液;容积测量;水含量测定;体积;半导体;含量;载气;掺杂气体;气体;亚五氧化晶胞;半导体材料;半导体工艺;试样制备;测量;含量测定;材料;杂质;材
【英文主题词】:
【摘要】:
【中国标准分类号】:G86
【国际标准分类号】:71_100_20;29_040_20
【页数】:2P;A4
【正文语种】:德语
【原文标准名称】:半导体工艺材料的检验.载气和掺杂剂气体中杂质的测定.用五氧化二磷晶粒测定气相氯化氢中的微量水
【标准号】:DIN50450-5-1994
【标准状态】:作废
【国别】:德国
【发布日期】:1994-01
【实施或试行日期】:
【发布单位】:德国标准化学会(DIN)
【起草单位】:
【标准类型】:()
【标准水平】:()
【中文主题词】:化学分析和试验;试验设备;分析;氯化氢;半导体工程;水污染;试验;测量电池;药液;容积测量;水含量测定;体积;半导体;含量;载气;掺杂气体;气体;亚五氧化晶胞;半导体材料;半导体工艺;试样制备;测量;含量测定;材料;杂质;材
【英文主题词】:
【摘要】:
【中国标准分类号】:G86
【国际标准分类号】:71_100_20;29_040_20
【页数】:2P;A4
【正文语种】:德语
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