ASTM F 1227-1989 与微电子相关基片的材料质量损失总量和脱气挥发性物质凝聚作用的测试方法
作者:标准资料网
时间:2024-05-18 00:28:29
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【英文标准名称】:TestMethodforTotalMassLossofMaterialsandCondensationofOutgassedVolatilesonMicroelectronics-RelatedSubstrates
【原文标准名称】:与微电子相关基片的材料质量损失总量和脱气挥发性物质凝聚作用的测试方法
【标准号】:ASTMF1227-1989
【标准状态】:作废
【国别】:美国
【发布日期】:1989
【实施或试行日期】:
【发布单位】:美国材料与试验协会(ASTM)
【起草单位】:ASTM
【标准类型】:()
【标准水平】:()
【中文主题词】:散热性;片基;质量损失;试验
【英文主题词】:volatility;filmbases;lossofmass;testing
【摘要】:
【中国标准分类号】:L04
【国际标准分类号】:83_140
【页数】:7P;A4
【正文语种】:英语
【原文标准名称】:与微电子相关基片的材料质量损失总量和脱气挥发性物质凝聚作用的测试方法
【标准号】:ASTMF1227-1989
【标准状态】:作废
【国别】:美国
【发布日期】:1989
【实施或试行日期】:
【发布单位】:美国材料与试验协会(ASTM)
【起草单位】:ASTM
【标准类型】:()
【标准水平】:()
【中文主题词】:散热性;片基;质量损失;试验
【英文主题词】:volatility;filmbases;lossofmass;testing
【摘要】:
【中国标准分类号】:L04
【国际标准分类号】:83_140
【页数】:7P;A4
【正文语种】:英语
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